微电子无尘车间

电子无尘车间：电子无尘车间适合行业有半导体、微电子、电子光学制造、精密制造、液晶制造、线路板等，一般净化级别在10万级。

电子无尘车间基本结构：由EPS净化板现场吊顶、围墙拼装，内壁全部作圆弧处理，铝型材包边美缝，环氧自流地坪，杜绝灰尘的积聚。

 电子无尘车间净化原理：气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高校净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程，即可达到净化目的。

电子无尘车间特点：

 1、洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、无尘车间截面风速按设计或规范受控，另外该类无尘车间对静电要求极其严格。其中对湿度要求尤甚。

2、电子制造厂万级无尘车间内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A) 。

3、电子制造厂无尘车间垂直流无尘车间满布比不应小于60%，水平单向流无尘车间不应小于40%，否则就是局部单向流了。 

4、电子制造厂无尘车间与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa

 5、电子制造行业万级无尘车间内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：

 6、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。 

7、保证供给无尘车间内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。

 电子无尘车间送风量： 电子制造行业无尘车间净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。

无尘室的送项最大值： 

1、保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量：

 2、根据热，湿负荷计算确定电子厂无尘车间的送风量： 

3、向电子制造厂无尘车间内供给的新鲜空气量：

电子无尘车间净化参数：

 换气次数：100000级≥15次;10000级≥20次;1000级≥30次; 

压差：主车间对相邻房间≥5Pa; 

平均风速：10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃; 湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电; 噪声≤65dB(A); 新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。 

电子无尘车间方案一：组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口 这是一个最传统京哈空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段（或中间 段）、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。 

电子无尘车间方案一特点：建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样就可以减少表冷段的冷处理负担；这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万 级等较低的净化无尘厂房。 

电子无尘车间方案二：水冷机柜+增压风柜+高效送风口

这种方案可以是一次回风也可以是二次回风。具体根据车间的大小情况而定；这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无 尘厂房。 

电子无尘车间方案三：分体空调柜机+FFU送风口 这是最简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来。再柜机回风口处再在彩钢板上开回风口（带初效过滤 网）；KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于室内温湿度精度要求不高的无尘车间。